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天准科技:Muetec的掩膜检测设备可以覆盖65-90nm工艺 目前尚未达到EUV掩膜检测设备的精度-世界通讯

当前位置:金融情报局网_中国金融门户网站 让金融财经离的更近>金融 > 正文  2023-05-29 15:43:59 来源:每日经济新闻


(资料图)

每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:日本对euv掩膜版设备进行了限制,MueTec的掩膜版检测设备能否进行国产替代?

天准科技(688003.SH)5月29日在投资者互动平台表示,Muetec的掩膜检测设备已经可以覆盖65-90nm工艺,目前尚未达到EUV掩膜检测设备的精度。

(文章来源:每日经济新闻)

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