大族激光：接近式光刻机已投入市场步进式光刻机已启动用户优化

当前位置：金融情报局网_中国金融门户网站让金融财经离的更近>金融 > 正文　 2023-02-06 14:39:38　来源：界面新闻

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大族激光2月6日在互动平台表示，目前公司光刻机项目主要应用在分立器件领域，分辨率3-5μm；其中，接近式光刻机已投入市场，步进式光刻机已启动用户优化，公司将根据市场需求及业务发展情况持续制定研发计划，并加大研发核心部件国产化。

（文章来源：界面新闻）

大族激光：接近式光刻机已投入市场 步进式光刻机已启动用户优化